OLED前後道制造工藝中,随着産品升級與工藝革新的不斷要求,對異物管控的要求也将日益提高,特别在異形狀、曲面、撓性等OLED有機發光屏的制程工藝上,對清潔度、清潔度、良率、人工、成本等的要求也是日益增進。旋風非接觸式精密除塵設備在OLED屏制造領域的應用有如下舉例:
1.OLED屏-手機、平闆、顯示器-貼合工藝中的設備前、設備内置除塵除異物單元(對平面、異形狀、曲面、撓性OLED屏的清潔)
2.柔性OLED的基闆材料PI,在通過載闆玻璃激光剝離後,浮塵異物的清潔
3.OLED基闆玻璃激光剪切後,精密加工平台的接觸式旋風除塵除異物。OLED (Flexible、Rigid) Laser Cut Stage 精密加工平台
4.發光pattern的清潔